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臺(tái)式真空等離子清洗機(jī)是一種體積緊湊、適用于實(shí)驗(yàn)室或小批量生產(chǎn)的等離子體表面處理設(shè)備。它通過(guò)在密閉真空腔體內(nèi)產(chǎn)生等離子體，對(duì)材料表面進(jìn)行清潔、活化、刻蝕或鍍膜，無(wú)...
[查看詳情]技術(shù)文章| Technical articles
等離子清洗機(jī)是實(shí)驗(yàn)室里提升材料表面活性、增強(qiáng)粘接或涂層附著力的“神助攻”。但用不好，不僅效果打折，還可能傷機(jī)器、存隱患。別擔(dān)心，這份接地氣的“保姆級(jí)”操作和保養(yǎng)指南，讓你輕松上手，用得省心又長(zhǎng)久！一、上手第一步：開機(jī)前的“熱身運(yùn)動(dòng)”環(huán)境檢查：通風(fēng)要好：機(jī)器必須放在通風(fēng)良好的地方，最好在通風(fēng)櫥內(nèi)或連接排氣管道。清洗時(shí)會(huì)產(chǎn)生少量臭氧等氣體，別讓它們?cè)趯?shí)驗(yàn)室“串門”。電源穩(wěn)定：插頭插穩(wěn)，電壓符合要求(通常是220V)，別跟大功率設(shè)備(比如烘箱、馬弗爐)搶插座，避免電壓不穩(wěn)“罷工”。...
[查看詳情]應(yīng)用案例
等離子清洗特點(diǎn)是不分處理對(duì)象的基材類型，均可進(jìn)行處理，對(duì)金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料等都能很好地進(jìn)行超清洗。
圖為PLUTO-T等離子清洗機(jī)對(duì)陶瓷基板上銀氧化層的清洗實(shí)例。
等離子清洗機(jī)可用于晶圓或者電路板表面的光刻膠去除，以及去除光學(xué)元件、半導(dǎo)體元件表面的光阻材料等。
圖為PLUTO-MD等離子去膠機(jī)對(duì)PCB板和硅片的去膠實(shí)例。
改善粘合力-用于光學(xué)元件、生物醫(yī)學(xué)、封裝領(lǐng)域等；
表面改性-用于高分子材料表面修飾、PDMS微流控芯片鍵合、玻璃等，增強(qiáng)表面粘附性、浸潤(rùn)性、相容性；
圖為PLUTO-M對(duì)線路板、橡膠管和手機(jī)膜的表面改性實(shí)例。
等離子刻蝕是干法刻蝕中常見(jiàn)的一種形式，其原理是暴露在電子區(qū)域的氣體形成等離子體，電離氣體原子通過(guò)電場(chǎng)加速時(shí)，會(huì)釋放足夠的力量與表面驅(qū)逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。
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